奈米工程與微系統研究所
| 分機 | 62400 |
| 直撥電話 | 03-5162400 |
| 傳真電話 | 03-5745454 |
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| 網頁 |  |
| 姓 名 | 職稱/職責 | 分機 | 備註 | |
| 王玉麟 | 教授兼所長 | 62405 | |
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| 李昇憲 | 特聘教授 | 62401 | |
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| 王威智 | 副教授 | 42488 | |
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| 方維倫 | 清華講座教授 | 42923 | |
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| 北森武彥 | 玉山榮譽講座教授 | 33973 | |
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| 李國賓 | 清華講座教授 | 33765 | |
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| 陳致真 | 教授 | 62403 | |
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| 傅建中 | 教授 | 33996 | |
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| 馮國華 | 教授 | 33798 | |
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| 森川響二朗 | 助理教授 | 33977 | |
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| 葉哲良 | 特聘教授兼行政院公共工程委員會副主委 | 42912 | |
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| 劉承賢 | 教授 | 42496 | |
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| 賴梅鳳 | 教授 | 33998 | |
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| 羅丞曜 | 教授 | 62404 | |
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| 饒達仁 | 教授兼工研院機械所所長 | 42850 | |
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| 吳貞興 | 技術助理 | 62407 | |
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| 鄭憶璇 | 行政助理 | 62400 | |
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| 劉良億 | 研究助理 | 33791 | |